2、提高整体机械性能、脱气和促进金属表面的净化作用真空对液态金属有明显的除气效果，对固态金属中溶解的气体也有很好的排除作用。金属中有害的气体是氢。采用真空加热时，可使金属和合金中的氢迅速降至 程度，氢脆，从而提高材料的塑性、韧性和疲劳强度，提高了工件的整体机械性能。金属和合金在真空中加热时，如果真空度低于相应氧化物的分解压力，这种氧化物就会发生分解，形成的游离氧立即被排出真空室，使金属表面质量，进一步改善，甚至使表面达到活化状态，起到净化作用。3、 工件变形小一般来说，被处理的工件在炉内靠热辐射加热，内外温差较小，热应力小，因而决定了真空热处理工艺处理的零件变形小，同时在真空下加热和在真空下淬火，自动完成，避免了热态下工件在空气中的搬运（盐浴处理及气氛保护处理虽在绝氧的环境里加热，但仍在空气或含有氧分子的淬火介质中完成淬火），减少了人为加工变形。如Cr12MoV材质的滚丝轮，分别真空热处理和盐浴处理，真空热处理比盐浴处理变形量小70%，产品合格率高。